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GSMM-75系列1.125” C-Seal 烧结不锈钢短纤维表面安装(IGS)气体过滤器
GSMM-75-010-14
GSMM-75-030-14
GSMM-75-050-14
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量:
GSMM-75-010-14 10 slpm
GSMM-75-030-14 30 slpm
GSMM-75-050-14 50 slpm
材质
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 500 psig (34.5 barg)
最高使用温度: 460°C (for Inert Gas)
最大耐受压差: 100 psid (6.9 bar)
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GSMM-55系列1.125” W-Seal 烧结不锈钢短纤维表面安装(IGS)气体过滤器
GSMM-55-010-14
GSMM-55-030-14
GSMM-55-050-14
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量:
GSMM-55-010-14 10 slpm
GSMM-55-030-14 30 slpm
GSMM-55-050-14 50 slpm
烧结多孔过滤材料: 316L SS 短纤维
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 500 psig (34.5 barg)
最高使用温度: 460°C (for Inert Gas)
最大耐受压差: 100 psid (6.9 bar)
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GSMM75 1.5” & 1.125” C-Seal 表面安装(IGS)气体过滤器
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 10 slpm、20 slpm、30 slpm、50 slpm、75 slpm、100 slpm
烧结多孔过滤材料: 316L SS，Hastelloy®; C-22 及 PENTA®; Nickel
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)、Hastelloy C-22
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 1800 psig (124.1 barg)
最高使用温度: 460°C (for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.4 bar)
GSMM-75-020-12
GSMM-75-030-12
GSMM-75-050-12
GSMM-75-010-11
GSMM-75-030-11
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33
GSMM-60-010-12
GSMM-60-050-12
GSMM-60-100-12
GSMM-60-010-11
GSMM-60-020-11
GSMM-60-075-11
GSMM-60-010-33
GSMM-60-020-33
GSMM-60-075-33 |
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GSMM55 1.5” & 1.125” W-Seal 表面安装(IGS)气体过滤器
主要技术指标
颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 μm(1.5nm)
颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08μm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)
标称流量: 10 slpm、20 slpm、30 slpm、50 slpm、75 slpm、100 slpm
烧结多孔过滤材料: 316L SS，Hastelloy®; C-22 及 PENTA®; Nickel
过滤器外壳: 316L SS VAR(二次提纯不锈钢)、Hastelloy C-22
电解抛光: 5 Ra, EP(Electro-polished)
使用条件
最大工作压力: 1800 psig (124.1 barg)
最高使用温度: 460°C (for Inert Gas)
最大耐受压差: 500 psid (34.4 bar)
GSMM-55-020-12
GSMM-55-030-12
GSMM-55-050-12
GSMM-55-010-11
GSMM-55-030-11
GSMM-55-050-11
GSMM-55-010-33
GSMM-55-030-33
GSMM-50-010-12
GSMM-50-050-12
GSMM-50-100-12
GSMM-50-010-11
GSMM-50-020-11
GSMM-50-030-11
GSMM-50-075-11
GSMM-50-010-33
GSMM-50-020-33
GSMM-50-075-33
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IGS 表面安装过滤器
大流量 - Mott专有多孔金属材料具有独特的性能，0.0015微米可靠9-LRV颗粒过滤效率，宽广流量范围，最大流量可达100slpm,满足机台升级需要。
全系列 – Mott标准IGS过滤器产品包括1.125” C-Seal 及W-Seal，1.5” C-Seal 及W-Seal.
多种材料选择 – 多孔金属过滤材料包括316L不锈钢，Hastelloy C-22 (哈氏合金),以及PENTA 镍，适合半导体制造各种气体，全金属构造，完全焊接结构，不使用任何塑料或非金属材料，有效杜绝颗粒污染。
完全金属构造，可耐受高温及高压；
完全焊接结构，不使用任何其它密封材料；
标准安装尺寸， 1.125” 及1.5”，标准IGS界面；
Mott专有多孔金属材料，具有独特的性能， 0.0015微米可靠9-LRV颗粒过滤效率；
多种材料选择，多孔金属过滤材料包括316L不锈钢，Hastelloy C-22 (哈氏合金)，以及PENTA镍。
1.125"
C-Seal 及W-Seal；
气体通路相当于1/4” tubing；
最大流量 50 slpm；
标准模块化底座兼容。
1.5"
C-Seal 及W-Seal；
气体通路相当于1/4" 及 3/8" tubing；
最大流量 100 slpm (大流量类型可达200 slpm)；
标准模块化底座兼容。
构造材料： 316L SS，Hastelloy®; C-22 及 PENTA®; Nickel
100级洁净间制造，超高纯洁净包装。 |
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